我公司专注于高温难熔融材料的真空喷涂技术，打破技术壁垒和难题，自主研发出具有世界先进水平的靶材真空喷涂生产线，我公司生产的靶材，经国家有色金属及电子材料分析测试中心检测，各项指标均达到和超过世界高端靶材的水平;经国内多家知名镀膜企业使用，反应良好。我公司靶材真空喷涂生产线和靶材产品具有如下技术核心与创新点：

一、技术核心：

1、 我公司采用了自主研发的超高温、大功率等离子喷涂枪，更为有效的融熔了高温难熔金属、陶瓷粉末材料，焰流速更快，使靶材的晶界结合更致密、晶粒更细 、孔隙更少、密度更高。

2、 靶材制备过程始终处于“真空”环境，区别于国内所有靶材的大气喷涂制备过程的常规技术，杜绝了气相杂质的产生，使靶材的成分、纯度得到有效保证。

3、 在靶材热喷涂制备过程中，等离子枪焰流中科学配注了还原气体，使材料在热熔、冷却过程中具备充分的还原性，保证材料的物化性质不发生改变。

4、 采用密闭循环水冷却控制系统，使靶材在热喷涂过程中，有效控制了靶材的温度，喷涂完成后按设定要求梯度降温，释放了靶材的材质内部应力，消除了客户在溅射制程中的靶材开裂隐患。

二、创新点

1、 靶材密度更高、晶粒更细、分布更混匀、内部孔隙率更少，用户使用过程中消耗均匀、使用寿命同比延长、镀膜膜层更加致密。

2、 靶材纯度更纯，氧、氮含量更低，保证了靶材材质的纯正性，使用户的溅射气氛更加可控，确保了膜层的高品质。

3、 靶材材料内部内应力更小，杜绝了客户在使用升温过程中，靶材的开裂、掉渣、污染溅射真空腔的现象。

4、 导电率更均匀、更平稳，使客户在溅射镀膜过程中，靶材放电过程更加充分，保证了设备电流、电压的稳定，杜绝了靶材中毒事故，镀膜膜层更加均匀致密。